报道称,三星电子和SK海力士负责材料开发的工程师正在对韩国生产的氟化氢试验品进行成分分析,三星电子已经开始使用替代产品。目前看来,三星电子和SK海力士寻找日产氟化氢替代材料的工作比预期进展顺利,预计到年底前后,就可以完全替代日本产品。
《Nocut News》此前也报道过,韩国业界相关人士表示,三星电子正在积极测试氟化氢,不久后将取得良好成果。
韩国半导体业界消息称,三星电子已经从8月中旬开始把韩国国内企业“Soulbrain”和“ENF TECH”生产的氟化氢用于部分工程。
不过,三星电子目前尚未把国产氟化氢用于所有半导体生产工程。三星电子相关人士说,“将首先把国内企业生产的氟化氢试验品投入到敏感度较低的工程,未来再陆续投入到高敏感度的工程”。
据了解,半导体工程大约由500项工程构成,其中需要氟化氢的工程有50项左右。也就是说,三星电子先把国产氟化氢应用到其中的1-2项工程中,用来取代日本产品。
韩国国内材料企业Soulbrain忠南公州工厂的扩建工程如果按计划在本月末竣工,韩国本土生产的氟化氢的产能有望进一步扩大。
据悉,Soulbrain和ENF TECH以前一直从日本Stella和Morita进口氟化氢进行提纯,然后制作成半导体工程使用的蚀刻剂材料,向三星供货。在日本限制对韩出口后,这些国内企业开始从台湾和大陆进口氟化氢。
SK海力士也计划尽快对国内企业生产的氟化氢进行试用。据了解,SK海力士设在中国无锡的半导体工厂已经完全使用中国生产的氟化氢取代了日本产品。