8月17日消息,美光本周在新加坡举办了庆祝Fab 10工厂扩建顺利完成的仪式。尽管新的洁净室不会增加该公司每月的晶圆产能,但却能让美光技术使用更先进的3D NAND工艺技术,生产具有更高层数和比特位密度的产品。实际上,Fab 10 Expansion是由多个部分组合而成的,包括了此前的Fab 10N和Fab 10X设施。
新加坡是美光闪存生产重要据点,台湾和日本则是动态随机存取存储器(DRAM)生产重心,近几年美光扩大亚洲投资,日本持续推升DRAM先进制程,在台中兴建美光海外首座3D DRAM封装厂,且和台中、桃园DRAM厂建构成为美光的DRAM卓越中心。美光并承诺扩大台湾DRAM制造规模,相关计划已提交台湾地区中科管理局审核,希望政府协助解决土地、用水和用电等问题。
这座新厂是美光NAND卓越中心的一项,美光将充分利用在新加坡基础设施和技术专长的长期投资,透过扩建无尘室并转制程推进至3D NAND Flash。
此次美光扩建工厂后,虽然不会增加晶圆产能,但是更高水准的洁净室能让美光继续生产更高层数的3D NAND产品,3D NAND层数越多,所需要刻蚀的时间也就越长,这要求洁净室的环境符合更严格的标准。
官方指出,新3D NAND生产设施占地16.5万平米。至于洁净室的空间、以及其它扩展功能部分,美光暂未透露。
目前该工厂正在设备安装阶段,预计可在2019下半年(未来4-5个月)投产96层3D NAND。至于具体的生产安排,将依实际需求而定。
在设备齐全之后,这里也不会增加任何新的晶圆容量,而是容纳更多3D NAND层数制造所需的、更先进的工艺设备。
据悉,随着3D NAND层数的增加,每片晶圆都需要在化学气相沉积(CVD)机器中耗费更多的时间,意味着蚀刻的工艺流程会被拖得更久。
此外,美光还会运用更多奢侈的生产技术。为了保持晶圆处理数量的一致性,闪存制造商必须在洁净室中加装额外的CVD和蚀刻机,这对设施空间提出了额外的要求。
综上所述,尽管Fab 10 Expansion可能不会提升美光新加坡工厂的每月晶圆数量,但确实可在NAND闪存生产方面实现一定的增长。
最后,除了新的制造工厂,美光还将扩大在新加坡的研发业务。其NAND卓越中心着力进行技术研发和产品工程,以进一步提升Fab 10工厂的产能和良率。
美光强调,在新加坡兴建新厂,是3D NAND Flash技术进阶节点的技术转型,因应5G、AI和自动驾驶等领域的客户需求,同时也提升美光未来成长动能。