据了解，华卓精科是国内唯一一家研制光刻机双工件台的设备企业，符合科创板的面向国家重大需求、突破关键核心技术的科技创新企业定位。标志着我国成为世界上少数几个可自主研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域最尖端系统的国家。
资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司创立于2012年，由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化，通过“技术辐射＆下行”的方式，面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。
在国家科技重大专项02专项中，华卓精科承担了“浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设”和“浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发”两个项目。
目前，由华卓精科研发团队成功研制出的具有自主知识产权的国产光刻机工件台系统，面向特定市场研发的IGBT激光快速退火工艺装备，技术指标均达到国际先进水平。
华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面，现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。
据资料显示，华卓精科于2015年登陆新三板，是中国集成电路装备的领军企业，业绩增长迅速。华卓精科2018上半年实现营业收入31,930,295.92元，比上年同期22,093,065.43元，增加44.53%；2018年上半年实现净利润6,836,650.82元，上年同期净利润为7,624,806.73元。
01月07日 18:14
