长江存储的第一台 193mm 沉浸式光刻机日前已经运到武汉，准备移入长江存储的 12 寸晶圆厂，售价高达 7,200 万美元，准备为高端 3D NAND 技术生产做万全准备，而这只是开端，随着长江存储的 3D NAND 技术持续开发，力拼 2019 年进入 64 层 3D NAND 技术，未来在试产和量产的道路上，会需要越来越多的光刻机台加入。
除了长江存储，中芯国际如火如荼朝高端工艺节点研发，因此，采购 ASML 的光刻机成为当务之急，根据外媒报导，中芯已经向 ASML 购买一台光刻机，价格 1.2 亿美元，用来发展高端技术。
过去，国内半导体业者一直认为基于“瓦森纳协议”的限制，高科技术的发展受限于不能采购高端机台，但 ASML 一直对外澄清，旗下的极紫外光 EUV 光刻机并没有此限制，只要大陆半导体厂商购买，会依序出货。
这次中芯国际订购一台光刻机，行业内认为是用来技术开发，未来高端技术量产需要的光刻机数量不止于此。
现在最大问题是，现今导体设备的交期非常长，几乎是产能吃紧，英特尔、台积电、三星等大厂为了力拼 10 纳米和 7 纳米工艺，几乎包下绝大多数的光刻机，加上 SK海力士、东芝、美光扩产 3D NAND 产能，也包下不少 EUV 光刻机，未来国内半导体厂遇到的最大问题，会是供应商的交期和产能限制。
01月07日 18:14
