据产业人士透露,三星显示器和LGDisplay正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。JusungEngineering、WONIKIPS、APSystem和TES拥有ALD技术和设备。LGDisplay已经完成对ALD的研究,准备将它用于柔性OLED生产;三星显示器也在加速部署ALD技术。
两家公司完成了ALD技术的研发,它们正在考虑实际引入ALD的可能性,因为它们正在向柔性OLED生产设施投资。企业的研发已经完成,开始进入商用阶段。
OLED是有机材料,它存在缺陷,比如,OLED对水和氧的防护比较弱。为了保护OLED,制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜,减少水和氧的侵蚀。具体铺多少层?不同的制造商有不同的标准,一般而言,制造企业会用一种名叫“Vitex”的方法在OLED之上铺盖有机薄膜和无机薄膜,交叠进行,各自3-5层。。
在无机薄膜封装过程中,企业一般使用PECVD(等离子体增强化学汽相沉积)、溅射、ALD技术;如果是有机薄膜沉淀,使用的是Kateeva的喷墨打印技术。为了生成无机薄膜,三星和LG采用PECVD技术。
为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD?因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。另外,柔性OLED屏幕的生产力下降,需求增长也是一个问题。