2014年8月11日国内原ITO导电玻璃主力生产厂家，中国建材旗下的方兴科技(SH:600552)发布公告，设立安徽方兴光电新材料科技有限公司，投资金额4000万元人民币建立年产80万平方米电容式触摸屏柔性镀膜生产线，项目建成后可实现年平均销售收入1.35亿元，生产期内年平均税后利润0.2亿元，项目财务内部收益率31.32%，资本金财务内部收益率40.45%，投资回收期4.12年（含建设期）。

方兴科技此次除了在重大项目建设中引入了“混合所有制”和“股权激励”央企混合所有制改革外，也把透明导电膜新材料概念再次引入人们视野，带动透明导电膜材料概念企业动作频频。

一、透明导电膜种类及用途

透明导电膜（TransparentConductiveOxide，TCO）是在可见光范围内具有高透明率具有导电特性的一种薄膜，为晶粒尺寸数百纳米的多晶层，主要用于光电器件如液晶显示器的透明电极、触摸屏、薄膜太阳能电池的透明电极等，上述透光度和导电性是两个相互牵制的指标，一般来讲，导电性提高，透光度就会下降，反之也一样。目前常见的透明导电薄膜包括氧化锡(TO)、氧化铟(IO)、铟锡氧化物(ITO)、掺锑氧化锡(ATO)、掺氟氧化锡(FTO)、掺镉氧化锡(CTO)、掺铟氧化锌(IZO)、掺镓氧化锌（GZO）、掺铝氧化锌（AZO)、导电聚合物塑料膜、纳米金属网格、碳纳米管、纳米导电丝、单层石墨烯等。

透明导电膜材料的研究起步于19世纪末，当时是在光电导材料上涂上很薄的金属薄膜；到了1950年，第二种透明导电膜In2O3（ITO）被制成，ITO导电膜开始在透明导电膜方面得到普遍应用；在最近20年里，透明导电膜应用主要以ITO材料为主，而在制程上以磁控溅镀工艺为主。

在电容屏领域，主要应用的ITO导电玻璃和ITOPET导电膜。

二、ITO玻璃组成结构

ITO玻璃即氧化铟锡导电玻璃。通常氧化铟与氧化锡之比为9:1，其中起导电作用的主要是氧化锡，而其透明度则由氧化铟控制。据用途、衬底玻璃的不同，ITO玻璃分为如下三种结构。

(A)

(C)

一般玻璃衬底为钠钙玻璃，其ITO层厚为250~2000?，折射率在2左右。衬底与ITO之间的SiO2阻挡层具有阻挡玻璃中Na+、Ca2+等离子的渗透，厚度通常为200~500?。如(C)所示之外层SiO2作为绝缘层，要求绝缘性能良好，其厚度一般为500~1000?。

三、ITO玻璃制造过程

在玻璃衬底上制备透明导电膜的方法有真空蒸发法、溅射法、喷雾法、涂覆法、浸渍法、化学气压沉积法、喷镀热解法与反应离子镀等。当前工业化最有效的方法是磁控溅射法，亦称高速低温溅射法。

ITO玻璃的制作方法一般为直流反应磁控溅射法，这种方法制得的导电膜层性能比较好。用大规模直流反应磁控溅射技术制ITO玻璃的流程如下：

磨边→切角→抛光→清洗→SiO2溅射→ITO清洗→ITO溅射→检验→包装

四、ITO导电膜主要技术指标

ITO导电膜主要技术指标包括透光率、方块电阻、平整度、化学稳定性、热稳定性和机械性能等。

a)透光率

ITO导电膜通常要求在可见光范围内透光率在86%以上，它主要取决于ITO厚度和折射率，透光率为透过材料的光通量与入射的光通量之比：

Tt=×100%

ITO膜厚越大，方块电阻块越小，但并不意味透过率就减少，这是由于干涉效应使得透过率随膜厚变化呈周期性变化。

b)方块电阻

如图示电流流过方型导电膜层时：R=ρ(ρ为体电阻率)。

对于给定膜层ρ和d不变,当L1=L2时,其电阻为定值ρ/d。这就是方块电阻的定义，即R□=ρ/d(Ω/□)。方块电阻常用四探针测试仪测定。

c)平整度

平整度是指ITO导电膜表面在一定范围内的起伏程度。用h/L表示。即在长度L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。如图示：

ITO导电膜平整度参数包括：

1)、ITO导电膜表面粗糙度；

2)、ITO导电膜膜厚均匀度。

d)化学稳定性

ITO导电膜的化学稳定性是通过耐湿性和耐碱性试验来评价的。耐湿性的标准是在温度60℃、湿度90%RH，24小时条件下，电阻变化在R=R0±10%范围内；耐碱性的标准是在温度75℃、浓度1%NaOH液中浸泡20分钟后，电阻变化在R=R0±10%范围内。

e)热稳定性和机械性能

ITO导电膜在生产、加工使用过程中,常常ITO膜暴露在高温环境中,所以ITO导电膜要有很好的热稳定性。

导电ITO玻璃整体要求有足够的机械强度。ITO导电膜对基材表面附着力要强，不易脱落，并具备较好的抗划伤能力。

五、电容屏透明导电膜的市场现状

由于看好电容屏的后续市场发展，国内在前几年迎来了一轮触摸显示用ITO导电玻璃的扩产潮，目前国内共有触摸显示屏用ITO镀膜线近六十条，年产ITO导电玻璃约600万平米，供应大约120家的TNLCD企业和90多家玻璃电容屏企业。

在电容触摸屏的ITOPET导电膜方面，国内也有万顺、欧菲光等企业实现了量产。方兴光电进入ITOPET导电膜市场，将再次缓解国内ITOPET导电膜方面的供应缺口。

除ITO透明导电膜外，国内石墨烯透明导电膜市场近日也是频频放出消息，莱宝高科(SZ:002106)、锦富新材(SZ:300128)、辉锐等都表示在石墨烯材料和触摸屏应用方面有新的突破。在纳米材料方面，苏大维格(SZ:300331)、欧菲光(SZ:002456)继续加强纳米银粉金属网格的研发与量产技术外，中科纳通的纳米银丝也表示取得了新的突破。