等离子压印蚀刻METAL MASH金属网格加工方法　

一、基材的选择　

在光学器件上，使用METAL MASH工艺制作导电金属线路，目前用到的基材主要是透过率好的玻璃和PET树脂。玻璃和PET树脂这两种材料，都具备比较简单的物理加工特性和比较稳定的化学保持特性，已经在成熟的透明ITO镀膜导电产品和显示器件产品中被验证和广泛使用。

目前，苹果的In-Cell触摸显示屏，使用的是在玻璃基体上制作METALMASH层，而其他正在研发的厂商，暂时都是选择了PET树脂作为基材。PET树脂基材的优势是，如果研发成功，在大批量生产过程中，能够使用ROLL TO ROLL工艺进行低成本高效率的生产。

等离子压印蚀刻METAL MASH金属网格加工方法，在基材的选择上，没有硬性的要求，所要注意的是，基材的平整度，要能满足微米或纳米级的加工工艺，在这一点上，市场上大部分的商品化基材，都可以满足到。

二、金属层制作

METAL MASH金属网格的金属层，如铜合金、铬合金、锡锌合金、银合金、金合金、钼铝钼组合合金、氧化锌、湨化银、纳米银丝、碳纳米管、石墨烯、纳米金属氧化物等，可以通过传统的蒸镀、溅镀、印刷、涂布、覆合等加工方式加工，制作成玻璃或PET、PC、PMMA、PI导电膜。

三、阻蚀油墨涂覆

1、阻蚀油墨涂覆

在基片上涂覆阻蚀油墨的方法有很多种，其中包含有丝网印刷、旋转涂布、滚筒涂布、刮涂、浸涂等等。

在微压印蚀刻工艺中阻蚀油墨的表面涂覆均匀性，要比化学蚀刻方法的销微低一些，也就是说，在涂覆效果上，微压印蚀刻工艺，可以允许表面粗糙度比较高。所以，如何选择阻蚀油墨的加工方法，主要取决于你所选择的阻蚀油墨粘度和你生产线的加工成本与效率。

对于阻蚀油墨的选择上，也可以根据自己所掌握的生产工艺，结合等离子设备商的建议，选择适合自己的阻蚀油墨。一般，如果熟悉干法工艺的工厂，建议使用机械剥离或强氧化去除的阻蚀油墨，如果是熟悉湿法工艺的工厂，则使用化学反应去除的阻蚀油墨。

2、阻蚀油墨涂覆生产加工过程中的难点

光学器件中的METAL MASH网格工艺产品，要求METAL MASH网格宽度，都要在视觉分辨以下，只有几个微米而己，因此，阻蚀油墨的另一个指标，油墨填充物的粒子直径，要在加工宽度的四分之一以下，这样才能保证加工过程中的产品品质和在制品良品率。

而在适应涂覆工艺上，阻蚀油墨的选择上，还是有很多要注意的地方。如果使用丝网印刷方式涂覆，选择的阻蚀油墨一般的粘度会比较高，里面会需要更多的增粘填充物和适应丝印的其它添加物，这些加入的物质和油黑主剂本身，是不能跟制作丝网的网浆材料产生反应的。

而网浆材料除了要在其固化以后的保形和抗机械磨损品质上比较好以外，也需要跟阻蚀油墨一样，填充物粒子直径，也要在加工宽度的四分之一以下，这样的话，即便是生产加工过程中，有少许的网浆在机械外力下脱落混入阻蚀油墨中，也不会影响后面工序的产品加工品质。

而在旋转涂布、滚筒涂布、刮涂、浸涂等等涂覆工艺中，油墨主剂除了也不能跟加工过程中所接触到的容治具发生反应外，为了适应这些涂覆工艺，一般选择的阻蚀油墨粘度会比较低，也就是说，里面会含有大量的溶剂或助剂来稀释或调整油墨的粘度。需要注意的是，这些添加的溶剂或助剂，要能保证生产环境的安全生产需要。

在阻蚀胶的涂覆过程中，控制和处理外来污染物，是比较头疼的一件事。就是目前的百级、十级的无尘车间，也还没办法杜绝微米级的尘埃进入生产车间，何况里面还有人员走动、物品搬运碰撞、机器机械运作等等在不停的制造粉尘混入车间空气中。从这上面来看，阻蚀油墨主剂或溶剂，最好是能快速与这些粉尘产生溶解或反应，让这些粉尘从固态转变成液态，在后续的加工过程中，形成跟阻蚀油墨一样的化学特性或物理结构，被挥发或同化掉。只是要满足这个特性，就与阻蚀油墨不能跟容治具发生反应这个基本要求是相背离的了。

所以，在这些尘埃不能完全避免的情况下，最大限度的减少它们的产生或传播，是唯一的办法。也就是说，METAL MASH金属网格生产加工工艺环境，以及在这环境里的物品和设备，都要求十分苛严。