今（21）天上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（以下简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入, 标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。
此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。
华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底达到产能目标。
项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。
项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，是国家“910工程”的子项目之一，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。
华力12英寸先进生产线建设项目实现首台工艺设备搬入，标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地、上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》取得了阶段性胜利，同时对上海建设先进制造业的产业集群高地、打响“上海制造”品牌有着重要意义。
自2016年12月30日开工以来，经过16个半月的努力，目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件，较原计划进度提前1个半月。
未来五个月内，华虹六厂工艺设备将集中搬入，并完成安装调试，年底前完成生产线串线并实现试流片。
来源：上观新闻网
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2018-05-21 14:57
李星
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