报道称，三星此举是在挑战台积电，在7纳米工艺的竞争中，台积电以EUV技术拔得头筹。三星作为台积电最大的对手，这样的做法是非常激进的。按照三星给出的技术路线图，6LPP、5LPE、4LPE其实都是在7LPP工艺基础上演化而来的，要一直到3nm(3GAE/3GAP)才会是全新的设计，预计会使用全新的结构和材料。5LPE会在性能、功耗、核心面积上进一步提升，相比于6nm LPP功耗更低、面积更小、晶体管密度更高。不过核心IP还是7LPP的那一套，不过由于EUV应用更深入，三星预计6LPP、5LPE工艺的应用范围也会更广，而且5nm明年迅速就会成为主流。