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韩媒：三星LG计划为柔性OLED面板引入ALD薄膜封装工艺

cnBeta 2016-09-26 15:34
OLED面板 柔性OLED薄膜封装工艺 ALD技术 阅读(3549)
导语两家公司都已经完成了ALD技术的研发，并且进入了商业化的开发阶段。对OLED来说，它的有机材料是很脆弱的，尤其在抵御水和氧方面。
 　　三星和LG两家公司正考虑为自家的柔性OLED薄膜封装工艺引入“原子层沉积”（AtomicLayerDeposition）技术，并且与各自的合作伙伴进行了内部设备验证。ALD技术可以更好地保护有机材料不受氧和水的影响，同时提升OLED面板的整体寿命和性能。本月22日的行业消息称，三星和LG已经做好了准备，合作方有JusingEngineering、WONIKIPS、APSystem、以及TES。

三星LG计划为柔性OLED面板引入ALD薄膜封装工艺

　　三星在SID2016上展出的5.7英寸QHD（25601440）柔性AMOLE面板，厚度仅0.3mm。

　　LG Display已经完成了ALD方面的研究，并且开始为柔性OLED面板制程引入ALD技术，而三星方面也在快速引入这项技术。

　　两家公司都已经完成了ALD技术的研发，并且进入了商业化的开发阶段。对OLED来说，它的有机材料是很脆弱的，尤其在抵御水和氧方面。

　　为了保护OLED，需要在上面覆盖多层薄膜。虽然面板制造期间用到数量有不同（3-5次），但其均采用了Vitex方法（覆盖有机或无机薄膜）。

　　通常情况下，制造商可以使用PECVD（等离子增强化学汽相沉积）、溅射（Sputtering）、以及ALD等无机薄膜封装技术，而Kateeva的喷墨印刷技术则采用了有机薄膜沉积。

　　Samsung Display和LGDisplay都选择了PECVD这项无机薄膜封装技术。
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