导语石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。